罗马诺：多特对重新签下桑乔很感兴趣，球员赛季末将离开曼联

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

亚历山德里亚-德拉罗卡

利布里齐

圣格雷戈里奥-达萨索拉

基金持仓集中度是指基金投资组合中，少数重仓股或特定行业资产占基金总资产的比例。持仓集中度高对基金的影响是多方面的，下面从收益、风险等角度进行分析。

从收益角度来看，持仓集中度高可能带来较高的潜在收益。当基金经理精准地选择了表现优异的股票或行业时，集中持仓能够让基金充分受益于这些优质资产的上涨。例如，某基金集中持有了新能源汽车产业链的相关股票，在新能源汽车行业快速发展、相关股票大幅上涨的时期，该基金的净值可能会大幅增长，为投资者带来丰厚的回报。因为集中投资使得基金在优势资产上的配置权重较大，资产价格的上涨会更显著地提升基金的整体价值。

然而，高持仓集中度也伴随着较高的风险。如果基金经理的判断出现失误，重仓持有的股票或行业表现不佳，基金的净值将会受到严重的负面影响。以科技股为例，如果某基金集中投资了科技股，而科技行业由于政策调整、技术瓶颈等原因出现下跌行情，那么该基金的净值可能会大幅缩水。此外，集中持仓还可能导致基金缺乏分散化投资的优势，无法通过不同资产之间的低相关性来降低整体风险。

从流动性方面考虑，持仓集中度高可能会影响基金的流动性。当基金需要大量卖出持仓股票来应对投资者赎回等情况时，如果持仓过于集中在少数股票上，可能会面临较大的流动性压力。因为大量抛售某一只股票可能会导致该股票价格下跌，从而进一步影响基金的净值。

以下是一个简单的表格，对比基金持仓集中度高和低的不同影响：

对于投资者来说，在选择基金时需要综合考虑自身的风险承受能力和投资目标。如果投资者风险承受能力较高，追求较高的收益，并且对基金经理的选股能力有信心，那么可以考虑持仓集中度较高的基金。相反，如果投资者更注重风险控制和资产的稳定性，那么持仓较为分散的基金可能更适合。

标签： 基金经理精准 基金时 指基金 基金总资

基金持仓集中度高有何影响？

西嶼澚

圣温琴佐

基耶西纳-乌扎内塞

山西古建筑数字艺术展——时空变调将传统文化与当代艺术链接，展出20位来自不同国家地区艺术家的山西古建筑艺术作品以及雕塑、装置、影像等立足时代前沿的七大板块形式作品，呈现一场跨越时空的文明对话，探索中国古代建筑精神与当下艺术表达之间的传承、融合与创新。

图片来源：山西博物院提供

展览以山西古建为切入点，在新时代语境下从艺术创作角度共同解读山西古建筑文化，是一次在博物馆场景下的跨领域、跨学科、跨身份的艺术实践和对话。在传承“天人合一”理念的同时，再造思辨现场，展望未来场景，呈现人文与思想、艺术与科技的多元交织，美美与共，带领观众欣赏一场满载思想、人文、艺科的联动。

“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”首次集中展示了89件（15组）珍贵的山西宋金壁画及砖雕文物，生动呈现了宋金壁画中的家园、家庆、家风、家愿等主题，让观众仿佛穿越时空，置身于宋金时期的生活场景之中，来一场跨越千年的“对话”。

值得一提的是山西博物院藏珍贵文物《郝匠金墓》，该墓于2013年发现于山西晋城市郝匠社区，为砖砌仿木结构双室墓。根据墓志，该墓建于金大定十五年（1175年），为研究金代社会生活和宗教文化提供了珍贵的信息。硕大的墓葬以裸展的形式在展厅得以呈现，带给观众视觉上的震撼。

两大展览展出至10月31日，长达6个月之久。围绕“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”，山西博物院还将推出“宋金文化”系列讲座以及点茶、插花、掐丝镜制作、宋服制作、蹴鞠球缝制等动手体验活动，让观众可以品味山西独特的历史文化，感知历史与现实碰撞出的艺术火花，一同领略山西的文物之美、古建之美。

“五一”假期，山西博物院推出两大重磅展览

托里塔-迪锡耶纳

卡斯特罗维拉里

卡诺萨桑尼塔